抗蝕劑的應(yīng)用
?抗蝕劑的應(yīng)用
抗蝕劑是一種在蝕刻和焊接等工藝過程中保護(hù)特定區(qū)域的材料。光刻膠是半導(dǎo)體工藝中使用的光敏劑，通常簡(jiǎn)稱為“光刻膠”，因此本文也將介紹光刻膠。
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當(dāng)光刻膠受到光照射時(shí)，其化學(xué)結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，具有顯影耐化學(xué)性的特性，反之，則可溶于顯影劑。利用這一特性，通過具有預(yù)定圖案的掩模對(duì)硅片上涂敷的抗蝕劑進(jìn)行光照射，最后用顯影液進(jìn)行清洗，從而使沒有抗蝕劑的加工區(qū)域受到抗蝕劑的保護(hù)，從而可以制造出抗蝕劑。此類光刻膠是制造高集成度、小型化半導(dǎo)體集成電路的必備材料之一。
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